【科研突破】紫外LED自由曲面配光技術(shù)應(yīng)用取得新進展

近日，在重慶市科技計劃項目支持下，中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院集成光電技術(shù)研究中心在紫外LED自由曲面配光技術(shù)的應(yīng)用研究中取得重要進展，成功將紫外LED光源用于曝光機領(lǐng)域，產(chǎn)品已在PCB、液晶面板、觸摸屏等行業(yè)獲得應(yīng)用。相關(guān)成果已獲得國家專利授權(quán)（專利號：用于紫外LED準(zhǔn)直的透鏡201320875490.0、高均勻度的紫外LED曝光頭201420651432.4）。
傳統(tǒng)的平行光曝光機采用高壓汞燈作為光源，其壽命只有1000小時，耗電高，且有污染。采用UVLED替換汞燈光源，壽命可達汞燈的50倍，耗電量可減少90%，大幅降低企業(yè)生產(chǎn)成本，環(huán)保無污染。
目前，重慶研究院已突破LED多自由曲面精確配光、適用于紫外波段的無機光學(xué)元件加工等關(guān)鍵技術(shù)，首次研發(fā)出基于紫外LED的平行光曝光頭，平行半角可控制在±2°以內(nèi)，照明不均勻性小于3%，照明強度高達40mW/cm2。

自主研制的部分UVLED曝光頭及光源模組